对于03的反应机理已经有了很多研究报道，主要是因为03的分解产物是一些分子态氧和具有高度活性的自由基H02·、OH ·、H-等，它们的高度活性在水处理中被用于杀菌消毒、破坏有机物结构等，副产物无毒，基本无二次污染，有着许多别的氧化剂无法比拟的优点。
臭氧化反应水处理属于气液反应过程，该过程可分为图4. 1所示几个步骤:
1.臭氧由气相主体穿过气膜向气液相界面的扩散;
2.通过相界面在液膜内的传递;
3.由液膜向液相主体的传递，气液反应是在液膜和液相卞体中讲行。
一般认为，臭氧化反应存在两种途径，即臭氧与溶解物直接反应，或臭氧分解产生自由基而引发的链反应。两种反应产物一般不同，当溶液处于碱性，自由基反应占主导地位。将两种反应作比较，直接氧化反应速率慢，选择性高，自由基反应速率快，选择性低。
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