臭氧(O3)在常压下呈淡蓝色，是一种具有较强刺激性气味的气体。臭氧的密度为空气的1. 7倍，易溶于水，在空气或水中极不稳定，易分解为氧气和具有很强氧化能力的新生态氧(0)，使用时也需要现场制备。臭氧对人体健康有一定影响，
空气中臭氧浓度达到15~20mg/L即有致命危险，故在水处理中散发出的臭氧尾气需要处理。
臭氧既是消毒剂，又是氧化能力极强的氧化剂。在水中投加臭氧消毒或氧化又称臭氧氧化。作为消毒剂，对顽强的微生物如病毒、芽抱等有强大的杀伤力。臭氧的强大杀菌能力还可能使臭氧对细胞壁具有较强渗透性，或由于臭氧破坏细菌有机体结构而导致细菌死亡。臭氧在水中很不稳定，易消失，持续消毒能力差，故在臭氧消毒后，还需要投加少量的氯、二氧化氯或氯胺。
臭氧作为氧化剂的主要特点是:不会产生三卤甲烷等副产物，杀菌和氧化能力均比氯强。但近年来臭氧化的副作用也开始引起人们的关注，有人认为，水中有机物经过臭氧氧化后，有可能将水中大分子物质变成数量更多的分子较小的中间
产物，这些中间产物和后加入的氯反应后，致突变性反而增强。目前臭氧主要与活性炭联合应用于水的深度处理。
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